分子束外延生長(MBE )是一種在高真空或超高真空環(huán)境下，利用蒸發(fā)源加熱而產(chǎn)生的蒸氣，經(jīng)小孔準(zhǔn)直后形成的分子束或原子束，直接濺射到適當(dāng)溫度的基片，上，在目標(biāo)樣品表面形成高純度薄膜的薄膜制備技術(shù)。MBE可在原子尺度上控制薄膜厚度和薄膜純度(能嚴(yán)格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度)。廣泛應(yīng)用于:晶體生長、超晶格、金屬、半導(dǎo)體、化合物、有機物薄膜制備、分子自組裝等方面。
● 設(shè)計成熟，可擴展性強，操作簡便，易學(xué)易用
● 可靠性好，能保證長時間穩(wěn)定工作
● 系統(tǒng)功能可根據(jù)用戶需求完全定制
● 獨特的樣品加熱設(shè)計，樣品溫度可達1600℃
□ 可定制功能：
● 腔體結(jié)構(gòu)、傳樣機構(gòu)，泵組及其品牌型號
● 樣品尺寸及其加熱方式
● 樣品操作臺運動維度和行程
● 蒸發(fā)源口徑、溫度、加熱方式和數(shù)量
● 進樣和存樣機構(gòu)的樣品數(shù)量
● 可擴展反射式高能電子衍射儀、紅外測溫儀、膜厚儀、氣源等
● 程序控制功能
● 腔體可做無磁處理
分子束外延生長系統(tǒng)（MBE）
